干涉顯微鏡是利用光波的干涉原理精確測量試樣表面高度微小差別的計量儀器。按其原理可以分為多束干涉顯微鏡和雙光束干涉顯微鏡兩類。這里僅就基于雙光束干涉的顯微鏡進行論述。

干涉顯微鏡是根據光波干涉原理設計制造出來的。圖1中(a)為其光學系統示意圖。由光源1發出的光線經聚光鏡2、濾色片3、光闌4及透鏡5后成平行光束，射向半反半透的分光鏡7后分成兩束：一束光線通過補償鏡8、物鏡9到平面反射鏡10，被10反射又回到分光鏡7，再由7經聚光鏡11到反射鏡16，由16進入目鏡12；另一束光線向上通過物鏡6，投射到被測零件表面， 由被測零件表面反射回來，通過分光鏡7、聚光鏡11到反射鏡16，由16反射也進入目鏡12。這樣，在目鏡12的視場內可以觀察到這兩柬光線因光程差而形成的干涉帶圖形。若被測試樣表面粗糙不平，則干涉帶將如圖1中(b)所示的彎曲狀；圖1中(c)為干涉顯微鏡的外形示意圖。 ^[2] 

圖1